主要技术参数
1.输入电压: AC380V/3PH+N 50Hz
2.工作效率:≥90%
3.输出电压:0-800V/1000V/1200V 连续可调
4.输出电流:0-20A/40A/60A/80A/100A 连续可调
5.输出纹波:≤(100mv纹 波(rms);≤0.1%)
6.控制精度:≤1%
7. 显示精度:0.1A/1V
8. 控制模式:恒流/恒压/恒功率 可选
9. 外部接口: PLC模拟信号/RS485 可选
10.绝缘电阻:≥200MΩ
11.绝缘耐压:≥1500V/1分钟
12.外壳防护等级:IP21
13.环境温度:0~40℃
14、保护方式:具有过压、过流、缺相、过载等保护功能。告警功能:具有电流告警、短路告警功能。
售后**:
我们还有专人负责售后服务:完善的售后服务,不管客户是在哪里,我们的售后服务人员都可以在24小时内到达现场,为客户排除故障,使客户的损失降到。我们的服务宗旨是:客户、质量、诚信。
、 主要特点:
1.采用先进的开关电源技术,体积小、效率高、运行稳定、噪声低、对电网干扰小,在节能和镀膜工艺的稳定性上比传统电源有明显的优势。
2.采用先进的DSP控制系统,具备自动稳流/稳压功能,不随气压变化,充分保证镀膜工艺的重复性,精确控制膜厚和减少靶材用量。
3.抑制靶材弧光放电及抗短路功能。 具有的负载匹配能力,既保证了靶面清洗工艺的稳定性,又提高了靶面清洗速度。
4.具有电压陡降特性,可充分满足磁控溅射的特殊要求。
5.主要参数均可大范围连续调节。
6. 可N+1并联,实现大功率输出,方便维护,可靠性高。
7.PLC接口功能,方便实现自动化控制。
它具有以下特点:
1、可提供恒流,恒压,恒功率工作模式。
2、有效抑制耙材弧光放电及抗短路功能,具有的负载匹配能力。
3、具有电压陡降特性,可充分满足磁控溅射的特殊要求。
4,工艺重复性好。
5、提高成膜速度,实现高质量的溅射膜层。
6、可N+1并联,实现大功率输出,方便维护,可靠性高。
7、具备RS485通讯接口PLC模拟接口功能,方便与工控电脑计算机**传输,实现全自动控制。
8、具有多级输出功能,可设定在不同时间段输出不同的电流、电压或功率值。