、 主要特点:
1.采用先进的开关电源技术,体积小、效率高、运行稳定、噪声低、对电网干扰小,在节能和镀膜工艺的稳定性上比传统电源有明显的优势。
2.采用先进的DSP控制系统,具备自动稳流/稳压功能,不随气压变化,充分保证镀膜工艺的重复性,精确控制膜厚和减少靶材用量。
3.抑制靶材弧光放电及抗短路功能。 具有的负载匹配能力,既保证了靶面清洗工艺的稳定性,又提高了靶面清洗速度。
4.具有电压陡降特性,可充分满足磁控溅射的特殊要求。
5.主要参数均可大范围连续调节。
6. 可N+1并联,实现大功率输出,方便维护,可靠性高。
7.PLC接口功能,方便实现自动化控制。
主要技术参数
1.输入电压: AC380V/3PH+N 50Hz
2.工作效率:≥90%
3.输出电压:0-800V/1000V/1200V 连续可调
4.输出电流:0-20A/40A/60A/80A/100A 连续可调
5.输出纹波:≤(100mv纹 波(rms);≤0.1%)
6.控制精度:≤1%
7. 显示精度:0.1A/1V
8. 控制模式:恒流/恒压/恒功率 可选
9. 外部接口: PLC模拟信号/RS485 可选
10.绝缘电阻:≥200MΩ
11.绝缘耐压:≥1500V/1分钟
12.外壳防护等级:IP21
13.环境温度:0~40℃
14、保护方式:具有过压、过流、缺相、过载等保护功能。告警功能:具有电流告警、短路告警功能。
公司奉行“以人才信息为资本、以品质和成本作竞争、以开发先进技术和优质服务为基础,变承诺为行动,视用户为上帝”的宗旨,运用现代企业的经营管理机制,采取灵活多变的营销策略,狠抓产品质量和售后服务,重视用户信息反馈。根据用户对设备的使用情况及时改进产品结构,产学研相结合,探索出了一条结合国内外有利因素、合理降低成本、提高产品质量和竞争力的发展途径,改善产品的性能,提高产品市场竞争能力,以的产品质量,优质的服务,不断开发新产品,满足用户和市场需求。
本系列大功率电源系统是替换传统可控硅电源理想产品,同等功率下节约电能40%以上。
昊源镀膜电源还采用了一些可显著提高电源性能、改善操控性能的技术措施,包括双重灭弧技术、打弧次数自动计数技术及脉冲电位器技术。双重灭弧技术是指系统在二级逆变电路中分别设置了灭弧电路,灭弧效率大大提高。自动记录打弧次数有利于用户分析镀膜效果,采用脉冲电位器则大大提高了器件操作的寿命及操作便利性。