直流溅射磁控电源 中频电源

本公司是个专业生产和营销大功率磁控溅射电源的企业公司，主要经营：真空蒸发镀膜电源、中频磁控溅射电源、脉冲磁控溅射电源、直流磁控溅射电源、偏压电源等等。
本公司*生产的磁控溅射电源，成功地运用了优异的脉宽调制技术（PWM），引进三菱、富士等国际的MOSFET、IGBT执行元件，大功率机器采用结构均流技术，并配以各种完善的保护功能，使得高频开关电源可靠性问题得到了圆满解决，满足低纹波要求，而且体积小、重量轻、节能环保，是一种性价比优异的电源产品，是可控硅整流电源的理想替代品。

二、扩展功能：
1．具备恒定输出功率控制功能。
2．可累计输出功率，掉电后可长期保存。
3．可累计输出电流，方便用户计算靶材损耗；并可预置电流X时间输出控制。
4．具备RS485通讯接口功能，方便与PLC或工控计算机实现**传输，实现全自动控制。
5．可预置输出值。
6．智能报警功能，当输出值与设定值有偏差时，通过声光报警提醒用户。
7. 开机密码保护功能，可限制无关人员使用本机器。
8．多级输出功能。可设定在不同时间段输出不同的电流、电压或功率值。
9．大屏幕液晶中文显示，界面友好，操作方便。
三、主要技术参数
1.输入电压： AC380V/3PH+N 50Hz
2.工作效率：≥90%
3．输出电压：0-800V/1000V/1200V 连续可调
4．输出电流：0-20A/40A/60A/80A/100A 连续可调
5．输出纹波：≤（100mv纹 波(rms);≤0.1%）
6．控制精度：≤1%
7. 显示精度：0.1A/1V
8. 控制模式：恒流/恒压/恒功率 可选
9. 外部接口: PLC模拟信号/RS485 可选
10．绝缘电阻：≥200MΩ
11．绝缘耐压：≥1500V/1分钟
12.外壳防护等级:IP21
13.环境温度：0~40℃
14、保护方式：具有过压、过流、缺相、过载等保护功能。告警功能：具有电流告警、短路告警功能。

它具有以下特点：
1、可提供恒流，恒压，恒功率工作模式。
2、有效抑制耙材弧光放电及抗短路功能，具有的负载匹配能力。
3、具有电压陡降特性，可充分满足磁控溅射的特殊要求。
4，工艺重复性好。
5、提高成膜速度，实现高质量的溅射膜层。
6、可N+1并联，实现大功率输出，方便维护，可靠性高。
7、具备RS485通讯接口PLC模拟接口功能，方便与工控电脑计算机**传输，实现全自动控制。
8、具有多级输出功能，可设定在不同时间段输出不同的电流、电压或功率值。

扩展功能：
1．具备恒定输出功率控制功能。
2．可累计输出功率，掉电后可长期保存。
3．可累计输出电流，方便用户计算靶材损耗；并可预置电流X时间输出控制。
4．具备RS485通讯接口功能，方便与PLC或工控计算机实现**传输，实现全自动控制。
5．可预置输出值。
6．智能报警功能，当输出值与设定值有偏差时，通过声光报警提醒用户。
7. 开机密码保护功能，可限制无关人员使用本机器。
8．多级输出功能。可设定在不同时间段输出不同的电流、电压或功率值。
9．大屏幕液晶中文显示，界面友好，操作方便。