真空镀膜离子源电源 高压双较清洗电源

、 主要特点：
1．采用先进的开关电源技术，体积小、效率高、运行稳定、噪声低、对电网干扰小，在节能和镀膜工艺的稳定性上比传统电源有明显的优势。
2．采用先进的DSP控制系统，具备自动稳流/稳压功能，不随气压变化，充分保证镀膜工艺的重复性，精确控制膜厚和减少靶材用量。
3．抑制靶材弧光放电及抗短路功能。 具有的负载匹配能力,既保证了靶面清洗工艺的稳定性，又提高了靶面清洗速度。
4．具有电压陡降特性,可充分满足磁控溅射的特殊要求。
5．主要参数均可大范围连续调节。
6. 可N+1并联，实现大功率输出，方便维护，可靠性高。
7．PLC接口功能，方便实现自动化控制。

一、 主要特点：
1．采用先进的开关电源技术，体积小、效率高、运行稳定、噪声低、对电网干扰小，在节能和镀膜工艺的稳定性上比传统电源有明显的优势。
2．采用先进的DSP控制系统，具备自动稳流/稳压功能，不随气压变化，充分保证镀膜工艺的重复性，精确控制膜厚和减少靶材用量。
3．抑制靶材弧光放电及抗短路功能。 具有的负载匹配能力,既保证了靶面清洗工艺的稳定性，又提高了靶面清洗速度。
4．具有电压陡降特性,可充分满足磁控溅射的特殊要求。
5．主要参数均可大范围连续调节。
6. 可N+1并联，实现大功率输出，方便维护，可靠性高。
7．PLC接口功能，方便实现自动化控制。
二、扩展功能：
1．具备恒定输出功率控制功能。
2．可累计输出功率，掉电后可长期保存。
3．可累计输出电流，方便用户计算靶材损耗；并可预置电流X时间输出控制。
4．具备RS485通讯接口功能，方便与PLC或工控计算机实现**传输，实现全自动控制。
5．可预置输出值。
6．智能报警功能，当输出值与设定值有偏差时，通过声光报警提醒用户。
7. 开机密码保护功能，可限制无关人员使用本机器。
8．多级输出功能。可设定在不同时间段输出不同的电流、电压或功率值。
9．大屏幕液晶中文显示，界面友好，操作方便。
三、主要技术参数
1.输入电压： AC380V/3PH+N 50Hz
2.工作效率：≥90%
3．输出电压：0-800V/1000V/1200V 连续可调
4．输出电流：0-20A/40A/60A/80A/100A 连续可调
5．输出纹波：≤（100mv纹 波(rms);≤0.1%）
6．控制精度：≤1%
7. 显示精度：0.1A/1V
8. 控制模式：恒流/恒压/恒功率 可选
9. 外部接口: PLC模拟信号/RS485 可选
10．绝缘电阻：≥200MΩ
11．绝缘耐压：≥1500V/1分钟
12.外壳防护等级:IP21
13.环境温度：0~40℃
14、保护方式：具有过压、过流、缺相、过载等保护功能。告警功能：具有电流告警、短路告警功能。

它具有以下特点：
1、可提供恒流，恒压，恒功率工作模式。
2、有效抑制耙材弧光放电及抗短路功能，具有的负载匹配能力。
3、具有电压陡降特性，可充分满足磁控溅射的特殊要求。
4，工艺重复性好。
5、提高成膜速度，实现高质量的溅射膜层。
6、可N+1并联，实现大功率输出，方便维护，可靠性高。
7、具备RS485通讯接口PLC模拟接口功能，方便与工控电脑计算机**传输，实现全自动控制。
8、具有多级输出功能，可设定在不同时间段输出不同的电流、电压或功率值。

经过公司专业人员长期以来的技术开发和试验，针对着镀膜工艺、*出一种很特殊的控制线路系统，具有灭弧速度快、镀膜效果好，输出电流、电压稳定，节约电源，工作效率高（达到93%以上）比可控硅电源节省用电率在40%左右。
可以按照客户的要求做出不同的控制系统，具有RS485通讯接口功能，方便与PLC或电脑计算机实现没有误差传输，实现全自动控制。还可以根据客户镀膜工艺的特殊需求，可以控制在不同的时间输出电流大小调节；安时、功率，数据统计。完善的计算机控制系统功能，方便您对生产过程实施监控以及工艺分析，更加深度的了解，精益求精...