直流溅射磁控电源 脉冲偏压电源

比较项目 昊源镀膜电源 传统镀膜电源
逆变器件 采用进口大功率IGBT模块，如德国英飞菱，日本富士、三菱等，器件性能好，可靠性高 部分厂家采用小功率MOSFET并联方式,器件数量多，耐冲击能力低，维修维护困难
整流器件 采用进口大功率快恢复二极管，额定电流达60A，输出整流单元电路简洁，抗过流能力强。 由多级快恢复二极管组成，输出整流单元布置复杂，抗过流能力弱。
主变压器 主变压器铁芯采用纳米晶铁磁材料，励磁电流小，磁性能优异，损耗小。 主变压器铁芯采用铁氧体材料，励磁电流大。
内部结构 散热器按照镀膜电源特点设计，功率及控制回路经过反复优化改进，内部结构简洁、整齐。 器件选型等因素导致内部连线复杂。维护检修困难。
防腐防尘 控制板件均采取防护措施，防腐能力强。 防护措施简单，防腐能力较弱。
冷却系统 水冷或强迫风冷可选 只可以提供一种冷却方式
保护功能 采用*特的双过流保护措施，确保电源快速保护；增加过热保护功能增强了电源运行的可靠性。 保护功能不全，对于电源运行中发生的异常状态不能提供及时保护。
控制功能 配置了计算机控制系统，易于按客户要求配置自动控制扩展功能，提高了电源使用效率；配置了液晶屏，各种参数显示齐全，便于用户分析炉体内部工况。 模拟显示基本参数。
维修维护 功能控制板模块化，采用插拔式连接，易于检修维护计更换，通过简易培训用户可自行维护。 焊接连接方式多，主体结构分层式布置，检修困难，非专行专业人员无法维修。

它具有以下特点：
1、可提供恒流，恒压，恒功率工作模式。
2、有效抑制耙材弧光放电及抗短路功能，具有的负载匹配能力。
3、具有电压陡降特性，可充分满足磁控溅射的特殊要求。
4，工艺重复性好。
5、提高成膜速度，实现高质量的溅射膜层。
6、可N+1并联，实现大功率输出，方便维护，可靠性高。
7、具备RS485通讯接口PLC模拟接口功能，方便与工控电脑计算机**传输，实现全自动控制。
8、具有多级输出功能，可设定在不同时间段输出不同的电流、电压或功率值。

中山市昊源电器设备有限公司是真空镀膜电源专业生产厂家。本公司生产的真空镀膜电源，原材料经过精心选择，产品生产均经过老化试验及出厂检验。产品质量有保证。本公司提供以下服务：
1、提品终身维护。产品质量保证期一年。在质量保证期内，因产品质量问题发生的设备故障（人为操作不当原因致使设备故障除外），我公司提供免费维修服务。
2、对于正常维修（保质期后）及由于人为操作不当或不可预见性事件致使设备故障而导致的产品维修，我公司负担产品维修过程中发生的修理调试人工费用，用户负担产品维修过程中发生的材料成本、交通及产品运输费用。
3、我公司对于真空镀膜电源技术问题提供免费服务，属于产品质量问题，24小时内给予明确答复或解决方案，保证48小时到达现场。

、 主要特点：
1．采用先进的开关电源技术，体积小、效率高、运行稳定、噪声低、对电网干扰小，在节能和镀膜工艺的稳定性上比传统电源有明显的优势。
2．采用先进的DSP控制系统，具备自动稳流/稳压功能，不随气压变化，充分保证镀膜工艺的重复性，精确控制膜厚和减少靶材用量。
3．抑制靶材弧光放电及抗短路功能。 具有的负载匹配能力,既保证了靶面清洗工艺的稳定性，又提高了靶面清洗速度。
4．具有电压陡降特性,可充分满足磁控溅射的特殊要求。
5．主要参数均可大范围连续调节。
6. 可N+1并联，实现大功率输出，方便维护，可靠性高。
7．PLC接口功能，方便实现自动化控制。