脉冲溅射磁控电源 离子源电源

本公司是个专业生产和营销大功率磁控溅射电源的企业公司，主要经营：真空蒸发镀膜电源、中频磁控溅射电源、脉冲磁控溅射电源、直流磁控溅射电源、偏压电源等等。
本公司*生产的磁控溅射电源，成功地运用了优异的脉宽调制技术（PWM），引进三菱、富士等国际的MOSFET、IGBT执行元件，大功率机器采用结构均流技术，并配以各种完善的保护功能，使得高频开关电源可靠性问题得到了圆满解决，满足低纹波要求，而且体积小、重量轻、节能环保，是一种性价比优异的电源产品，是可控硅整流电源的理想替代品。

主要技术参数
1.输入电压： AC380V/3PH+N 50Hz
2.工作效率：≥90%
3．输出电压：0-800V/1000V/1200V 连续可调
4．输出电流：0-20A/40A/60A/80A/100A 连续可调
5．输出纹波：≤（100mv纹 波(rms);≤0.1%）
6．控制精度：≤1%
7. 显示精度：0.1A/1V
8. 控制模式：恒流/恒压/恒功率 可选
9. 外部接口: PLC模拟信号/RS485 可选
10．绝缘电阻：≥200MΩ
11．绝缘耐压：≥1500V/1分钟
12.外壳防护等级:IP21
13.环境温度：0~40℃
14、保护方式：具有过压、过流、缺相、过载等保护功能。告警功能：具有电流告警、短路告警功能。

、 主要特点：
1．采用先进的开关电源技术，体积小、效率高、运行稳定、噪声低、对电网干扰小，在节能和镀膜工艺的稳定性上比传统电源有明显的优势。
2．采用先进的DSP控制系统，具备自动稳流/稳压功能，不随气压变化，充分保证镀膜工艺的重复性，精确控制膜厚和减少靶材用量。
3．抑制靶材弧光放电及抗短路功能。 具有的负载匹配能力,既保证了靶面清洗工艺的稳定性，又提高了靶面清洗速度。
4．具有电压陡降特性,可充分满足磁控溅射的特殊要求。
5．主要参数均可大范围连续调节。
6. 可N+1并联，实现大功率输出，方便维护，可靠性高。
7．PLC接口功能，方便实现自动化控制。

昊源镀膜电源还采用了一些可显著提高电源性能、改善操控性能的技术措施，包括双重灭弧技术、打弧次数自动计数技术及脉冲电位器技术。双重灭弧技术是指系统在二级逆变电路中分别设置了灭弧电路，灭弧效率大大提高。自动记录打弧次数有利于用户分析镀膜效果，采用脉冲电位器则大大提高了器件操作的寿命及操作便利性。