脉冲溅射偏压电源 高压窄脉冲电源

一、 主要特点：
1．采用先进的开关电源技术，体积小、效率高、运行稳定、噪声低、对电网干扰小，在节能和镀膜工艺的稳定性上比传统电源有明显的优势。
2．采用先进的DSP控制系统，具备自动稳流/稳压功能，不随气压变化，充分保证镀膜工艺的重复性，精确控制膜厚和减少靶材用量。
3．抑制靶材弧光放电及抗短路功能。 具有的负载匹配能力,既保证了靶面清洗工艺的稳定性，又提高了靶面清洗速度。
4．具有电压陡降特性,可充分满足磁控溅射的特殊要求。
5．主要参数均可大范围连续调节。
6. 可N+1并联，实现大功率输出，方便维护，可靠性高。
7．PLC接口功能，方便实现自动化控制。
二、扩展功能：
1．具备恒定输出功率控制功能。
2．可累计输出功率，掉电后可长期保存。
3．可累计输出电流，方便用户计算靶材损耗；并可预置电流X时间输出控制。
4．具备RS485通讯接口功能，方便与PLC或工控计算机实现**传输，实现全自动控制。
5．可预置输出值。
6．智能报警功能，当输出值与设定值有偏差时，通过声光报警提醒用户。
7. 开机密码保护功能，可限制无关人员使用本机器。
8．多级输出功能。可设定在不同时间段输出不同的电流、电压或功率值。
9．大屏幕液晶中文显示，界面友好，操作方便。

二、扩展功能：
1．具备恒定输出功率控制功能。
2．可累计输出功率，掉电后可长期保存。
3．可累计输出电流，方便用户计算靶材损耗；并可预置电流X时间输出控制。
4．具备RS485通讯接口功能，方便与PLC或工控计算机实现**传输，实现全自动控制。
5．可预置输出值。
6．智能报警功能，当输出值与设定值有偏差时，通过声光报警提醒用户。
7. 开机密码保护功能，可限制无关人员使用本机器。
8．多级输出功能。可设定在不同时间段输出不同的电流、电压或功率值。
9．大屏幕液晶中文显示，界面友好，操作方便。
三、主要技术参数
1.输入电压： AC380V/3PH+N 50Hz
2.工作效率：≥90%
3．输出电压：0-800V/1000V/1200V 连续可调
4．输出电流：0-20A/40A/60A/80A/100A 连续可调
5．输出纹波：≤（100mv纹 波(rms);≤0.1%）
6．控制精度：≤1%
7. 显示精度：0.1A/1V
8. 控制模式：恒流/恒压/恒功率 可选
9. 外部接口: PLC模拟信号/RS485 可选
10．绝缘电阻：≥200MΩ
11．绝缘耐压：≥1500V/1分钟
12.外壳防护等级:IP21
13.环境温度：0~40℃
14、保护方式：具有过压、过流、缺相、过载等保护功能。告警功能：具有电流告警、短路告警功能。

比较项目 昊源镀膜电源 传统镀膜电源
逆变器件 采用进口大功率IGBT模块，如德国英飞菱，日本富士、三菱等，器件性能好，可靠性高 部分厂家采用小功率MOSFET并联方式,器件数量多，耐冲击能力低，维修维护困难
整流器件 采用进口大功率快恢复二极管，额定电流达60A，输出整流单元电路简洁，抗过流能力强。 由多级快恢复二极管组成，输出整流单元布置复杂，抗过流能力弱。
主变压器 主变压器铁芯采用纳米晶铁磁材料，励磁电流小，磁性能优异，损耗小。 主变压器铁芯采用铁氧体材料，励磁电流大。
内部结构 散热器按照镀膜电源特点设计，功率及控制回路经过反复优化改进，内部结构简洁、整齐。 器件选型等因素导致内部连线复杂。维护检修困难。
防腐防尘 控制板件均采取防护措施，防腐能力强。 防护措施简单，防腐能力较弱。
冷却系统 水冷或强迫风冷可选 只可以提供一种冷却方式
保护功能 采用*特的双过流保护措施，确保电源快速保护；增加过热保护功能增强了电源运行的可靠性。 保护功能不全，对于电源运行中发生的异常状态不能提供及时保护。
控制功能 配置了计算机控制系统，易于按客户要求配置自动控制扩展功能，提高了电源使用效率；配置了液晶屏，各种参数显示齐全，便于用户分析炉体内部工况。 模拟显示基本参数。
维修维护 功能控制板模块化，采用插拔式连接，易于检修维护计更换，通过简易培训用户可自行维护。 焊接连接方式多，主体结构分层式布置，检修困难，非专行专业人员无法维修。

公司奉行“以人才信息为资本、以品质和成本作竞争、以开发先进技术和优质服务为基础，变承诺为行动，视用户为上帝”的宗旨，运用现代企业的经营管理机制，采取灵活多变的营销策略，狠抓产品质量和售后服务，重视用户信息反馈。根据用户对设备的使用情况及时改进产品结构，产学研相结合，探索出了一条结合国内外有利因素、合理降低成本、提高产品质量和竞争力的发展途径，改善产品的性能,提高产品市场竞争能力，以的产品质量，优质的服务，不断开发新产品，满足用户和市场需求。
本系列大功率电源系统是替换传统可控硅电源理想产品，同等功率下节约电能40%以上。