中频溅射电源 高压窄脉冲电源

它具有以下特点：
1、可提供恒流，恒压，恒功率工作模式。
2、有效抑制耙材弧光放电及抗短路功能，具有的负载匹配能力。
3、具有电压陡降特性，可充分满足磁控溅射的特殊要求。
4，工艺重复性好。
5、提高成膜速度，实现高质量的溅射膜层。
6、可N+1并联，实现大功率输出，方便维护，可靠性高。
7、具备RS485通讯接口PLC模拟接口功能，方便与工控电脑计算机**传输，实现全自动控制。
8、具有多级输出功能，可设定在不同时间段输出不同的电流、电压或功率值。

一、 主要特点：
1．采用先进的开关电源技术，体积小、效率高、运行稳定、噪声低、对电网干扰小，在节能和镀膜工艺的稳定性上比传统电源有明显的优势。
2．采用先进的DSP控制系统，具备自动稳流/稳压功能，不随气压变化，充分保证镀膜工艺的重复性，精确控制膜厚和减少靶材用量。
3．抑制靶材弧光放电及抗短路功能。 具有的负载匹配能力,既保证了靶面清洗工艺的稳定性，又提高了靶面清洗速度。
4．具有电压陡降特性,可充分满足磁控溅射的特殊要求。
5．主要参数均可大范围连续调节。
6. 可N+1并联，实现大功率输出，方便维护，可靠性高。
7．PLC接口功能，方便实现自动化控制。
二、扩展功能：
1．具备恒定输出功率控制功能。
2．可累计输出功率，掉电后可长期保存。
3．可累计输出电流，方便用户计算靶材损耗；并可预置电流X时间输出控制。
4．具备RS485通讯接口功能，方便与PLC或工控计算机实现**传输，实现全自动控制。
5．可预置输出值。
6．智能报警功能，当输出值与设定值有偏差时，通过声光报警提醒用户。
7. 开机密码保护功能，可限制无关人员使用本机器。
8．多级输出功能。可设定在不同时间段输出不同的电流、电压或功率值。
9．大屏幕液晶中文显示，界面友好，操作方便。

经过公司专业人员长期以来的技术开发和试验，针对着镀膜工艺、*出一种很特殊的控制线路系统，具有灭弧速度快、镀膜效果好，输出电流、电压稳定，节约电源，工作效率高（达到93%以上）比可控硅电源节省用电率在40%左右。
可以按照客户的要求做出不同的控制系统，具有RS485通讯接口功能，方便与PLC或电脑计算机实现没有误差传输，实现全自动控制。还可以根据客户镀膜工艺的特殊需求，可以控制在不同的时间输出电流大小调节；安时、功率，数据统计。完善的计算机控制系统功能，方便您对生产过程实施监控以及工艺分析，更加深度的了解，精益求精...

中山市昊源电器设备有限公司是真空镀膜电源专业生产厂家。本公司生产的真空镀膜电源，原材料经过精心选择，产品生产均经过老化试验及出厂检验。产品质量有保证。本公司提供以下服务：
1、提品终身维护。产品质量保证期一年。在质量保证期内，因产品质量问题发生的设备故障（人为操作不当原因致使设备故障除外），我公司提供免费维修服务。
2、对于正常维修（保质期后）及由于人为操作不当或不可预见性事件致使设备故障而导致的产品维修，我公司负担产品维修过程中发生的修理调试人工费用，用户负担产品维修过程中发生的材料成本、交通及产品运输费用。
3、我公司对于真空镀膜电源技术问题提供免费服务，属于产品质量问题，24小时内给予明确答复或解决方案，保证48小时到达现场。